WTS-311
- 有機EL/LCD/LCOS/CCD/CISアレイ・ウエファ検査装置
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有機EL、低温・高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CMOSイメージセンサーウエファ用フルスペック新型検査装置です。
将来のデバイストレンドを見越し、高周波での画素データ取り込み、複数デバイス同時測定、画素データ取り込みなどの機能が大幅に強化されました。
2003年9月に１号機を納入、12月に検収があがりました。
製品仕様
| 対応デバイス | 有機EL、低温・高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、LCOS（VGA～UXGA、全ピン、分割コンタクトプローバー対応）、CCD、CMOSイメージセンサー |
| 測定方式 | DCS方式 |
| 処理方式 | ソフト/ハードでの画像処理による。従来比４倍以上 |
| 駆動パターン、クロック | DC～80MHz |
| 駆動電圧 | -10.24v ～ +20.47v |
| 画素データ取り込み | 最大8ch、3億8000画素/ch |
| ＤＣパラメトリック・テスト | シフトレジスタ、パーピン電流電圧測定機能 |