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製品ラインナップ

WTS-311

有機EL/LCD/LCOS/CCD/CISアレイ・ウエファ検査装置

有機EL、低温・高温ポリシリ~アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CMOSイメージセンサーウエファ用フルスペック新型検査装置です。
将来のデバイストレンドを見越し、高周波での画素データ取り込み、複数デバイス同時測定、画素データ取り込みなどの機能が大幅に強化されました。
2003年9月に1号機を納入、12月に検収があがりました。

製品仕様

対応デバイス 有機EL、低温・高温ポリシリ~アモルファスTFTアレイ、LCOS(VGA~UXGA、全ピン、分割コンタクトプローバー対応)、CCD、CMOSイメージセンサー
測定方式 DCS方式
処理方式 ソフト/ハードでの画像処理による。従来比4倍以上
駆動パターン、
クロック
DC~80MHz
駆動電圧 -10.24v ~ +20.47v
画素データ取り込み 最大8ch、3億8000画素/ch
DCパラメトリック
・テスト
シフトレジスタ、パーピン電流電圧測定機能