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製品ラインナップ

WTS-103C(製造中止)

有機EL/LCD/LCOS/CCD/CISアレイ・ウエファ検査装置

有機EL、低温・高温ポリシリ~アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CMOSイメージセンサーウエファ用フルスペック検査装置です。

製品仕様

対応デバイス 有機EL、低温・高温ポリシリ~アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CIS、VGA~UXGA
(全ピン、分割コンタクトブローバー対応)
測定方式 DCS方式
処理方式 画像処理による。
駆動パターン、
クロック
DC~40NHz 100ps分解能、32~最大128チャンネル
駆動電圧 40Vp-p最大128チャンネル
画素データ取り込み 40MHz 10bit 800万画素までのバッファメモリ
DCパラメトリック
・テスト
シフトレジスタ、電流電圧測定機能