製品ラインナップ

　WTS-511検査装置は、高速の並列アーキテクチャと柔軟なチャネルごとのリソースにより、業界をリードするスループットを実現します。特に、高密度スクライブ アレイ ベースのテスト構造や個別のシングル パッド付きDUT（Device Under Test、被試験デバイス）に適しています。従来の LCR ベースの静電容量測定技術に代わる高度な並列化として、すべてのチャネルで直接電荷測定が利用できる利点があります。

【主な特徴】
変動スクリーニングと欠陥監視

スクライブ ラインのウエハ・アクセプタンス・テスト (WAT) およびプロセス制御モニタリング (PCM)

個別DUTとアレイDUTの両方に柔軟に対応

全チャンネル同時並列動作

従来のLCRベースの容量測定技術に代わる高度な並列化として、すべてのチャネル（フォースまたは測定）で直接電荷測定が利用可能